SECS/GEM 半导体设备软件平台SEPlat 基于SEMI工厂自动化相关标准的软件中间件,实现设备与工厂EAP系统的通信连接、状态监控以及生产业务交互等标准功能,同时,可根据需要进行消息自定义扩展;基于EDA标准中间件,实现设备数据采集功能。 申请试用