SECS/GEM SEPlat半导体设备软件开发框架 基于SECS/GEM开发套件实现的半导体设备软件框架,拥有完整的软件分层架构和代码实现,丰富的抽象类及常用的工具集,同时提供源代码供客户进行深度定制,极大降低客户的软件开发成本。 申请试用