SECS/GEM 半导体设备软件开发框架SOF 基于 SEPlat标准集的半导体设备软件开发框架,拥有完整的软件分层架构和代码实现,丰富的抽象类及常用的工具集。该框架屏蔽复杂的 SEMI 标准流程和交互细节,支持标准应用场景,简化定制开发流程,降低开发人员准入门槛。 申请试用