SECS/GEM SEPlat SGemSim模拟主机测试工具 基于TCP/IP的SEMI-E37.1(HSMS)通信协议以及SEMI-E5消息协议,可作为模拟工厂EAP端,与设备端进行交互,以Project方式全面测试设备端SECS/GEM、GEM300标准功能的满足度,支持各种场景定义和自动化回归测试。 申请试用